(1)便攜性:許多空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)不僅靈敏度高,而且便于攜帶,為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕,對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動(dòng)化:氦峰自動(dòng)標(biāo)定,零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整,量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)自動(dòng)處理,可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制,具有選菜功能,一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵,達(dá)到無油蒸汽的效果,為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
1.較小的檢漏率:即空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)能檢測到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間:當(dāng)一定流量的探測氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時(shí),電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間,泄漏指示器可以達(dá)到大值,泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零,需要一定時(shí)間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時(shí)間略長于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間:空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)開啟電源與能檢測到泄漏之間的時(shí)間。